这也是目前用于沉积金刚石薄最为广泛的方法。

微波等离cvd法，也就是mpcvd法。

而用10kw微波功率的时候，他的沉积速率可以达到25μm/h。

举个例，用5kw微波功率的mpcvd法，可以以10μm/h的速率沉积工级金刚石薄，以8μm/h的速率沉积沉级金刚石薄，以3μm/h的速率沉积光学级金刚石薄。

在微波功率，的甲烷与氢气积量比，160torr气压力下，可以制备150μm/h的多晶金刚石薄。

放下笔，陈舟动鼠标，继续看文献的内容。

但是，就像四十三所实验室的装置一样，mpcvd法的沉积速率是伤。

和dapcvd法使用的气源相同，主要是氩气，反应气是甲烷和氢气。

“如果有dapcvd法一半的速度，再加上mpcvd法的制备质量，那这事不就成了吗？”

这方法最先是通过一轴向的天线耦合，将2~5w的矩形微波行导转换，在大气压下形成等离。

拿笔了两下，随手便划了两个圈。

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“微博功率……”

除此之外，金刚石薄的沉积速率还和气压力有关。

现如今，这方法已经形成了多形式。

把dapcvd法的相关文献看完后，陈舟右手动鼠标，开了一个新的pdf文件。

陈舟在草稿纸上着记录，并把自己的想法记在一旁。

它们的沉积速率，都是和微波功率有关的。

而且mpcvd法无内电极，可以避免电极放电污染和电极腐蚀。

也就是说，通过增大微波功率，可以提金刚石薄的沉积速率。

如果在同等条件下，将压力提至310torr下，可以制备165μm/h的单晶金刚石薄。

这是重。

最后一个制备方法。

“气压力……”

可以说是满足了制备质量金刚石薄的条件。

很好的解决了的致密度不的问题同时，还可以产生大积的金刚石薄。

在沉积速度过快时，的表面不平整，就会大大降低的致密度。

此外，这方法还能在曲面或者复杂表面上行金刚石薄的沉积。

不过不是真空室的形成来分的石英式、石英钟罩式和带有微波窗的金属腔式，还是微波与等离的耦合方式来分的表面波耦合式、直接耦合式和天线耦合式。

是四十三所所采用的的方法。

看到这，陈舟古怪的笑了笑：“看来，太快了也不好……”

但是整来说，这方法还是很有研究潜力的。

和dapcvd法被报的时间，仅相隔一年。

陈舟在草稿纸上写下这两个词汇。

看完了这篇详细介绍mpcvd法的文献后，陈舟不禁想到。

围内厚不均，会呈梯形分布。

mpcvd法之所以会成为最广泛的方法，是因为这方法比dapcvd法制备的金刚石薄质量更好。

而压等离就会由耦合的“针孔”到冷的样品台上，继而形成金刚石薄。

也是陈舟查这么文献的目的。