n型掺杂，或者说磷掺杂金刚石，之所以难。

好给自己受阻的思路，打开一个缺。

磷掺杂金刚石中存在大量空位，也会与磷原形成结合力很的磷—空位缺陷。

“可这也并不是绝对的，而且晶面的问题，也不是最为关键的因素……”

陈舟手中的动作加快，鼠标的不断动。

“金刚石衬底的晶面选择……”

本章尚未读完,请击下一页继续阅读---->>>

“不是这分的内容……”

当磷原金刚石晶格内，会引起晶格扭曲，影响金刚石中的构型、键型和电荷分布。

所以在共掺杂中，他们研究的便是磷—氮共掺的方法。

结合四十三所已经完成的10组实验数据，陈舟开始p型掺杂实验的试错。

制备来的掺杂金刚

“再梳理一遍文献资料……”

“磷的掺杂度？”

“怎么把这个数据忘了！” [page]

本来是准备先解决n型掺杂问题的，结果这一思考，问题就跃到了共掺杂？

看到这个内容时，陈舟的双瞬间明亮起来。

现在再看，只是寻找自己有没有漏掉的地方。

而消失的内容，则代表着陈舟已经解决了相应的问题。

【氮原于金刚石晶格中的替代位置，会形成激发能量为1.7ev的施主能级，在室温下不导电……】

这是陈舟思路受阻时的表现。

因为四十三所的n型掺杂实验，采用的是磷掺杂。

虽然磷的能级位于导带底以下0.58ev，但是这缺陷却还是存在。

“但是，相对于（111）面单晶金刚石衬底表面抛光难、缺陷多、尺寸小来说，（100）面取向衬底表面有原级的平整程度，缺陷小，外延质量也优于（111）面衬底金刚石……”

手中鼠标的不断动，屏幕上的内容也在不断变化。

然后起走到沈靖旁，把草稿纸甩给了沈靖。

现在，错题集上即将再次上演一波抛线走向。

是因为磷原比碳原大，很难嵌金刚石晶格。

想到这，陈舟手中的笔停了下来，习惯的在草稿纸上着。

但陈舟的睛却一眨都不眨。

在共掺杂实验中，最早被作为磷源的是ph3，被作为氮源的是n2。

接下来，该到n型掺杂和共掺杂的问题了。

这些内容，他已经过了一遍了。

“硼源的掺杂度……”

屏幕上的内容被陈舟拉到了共掺杂的分。

n型掺杂和共掺杂的问题，相比于p型掺杂，则要难上许多。

一个小时后，陈舟拿一张新的草稿纸，在草稿纸上写下一系列的实验参数。

如果氮原能够填补缺陷，磷原的掺杂就有了空间……

“电散机制？”

这样想着的陈舟，放下了手中的笔，将目光再次移向电脑屏幕。

而导致难以获得质量的磷掺杂金刚石薄。

【理论上，磷可以作为浅施主杂质，但磷原的半径大于碳原半径，很难掺金刚石晶格中……】

这也使得陈舟就这样把两者联系在了一起。

看到这，陈舟手中的速度不自觉的慢了下来。

陈舟则再次回到座位坐好。

【……】

陈舟不由得在心中笑了笑，但也随即便决定将n型掺杂和共掺杂的问题放在一块解决。

“反应压力、温度……”

“第一次实现金刚石n型掺杂是在（111）面金刚石衬底上行的，而且样品在很宽的温度范围内都表现了n型半导传到特……”

但是，采用这两气行实验时，得到的结果却并不理想。

“在温度500k时，霍尔迁移率在23cm2/（v·s）……”

这缺陷的能级位于金刚石导带底约1.7ev的位置上，可以补偿施主，阻碍磷原的电离。

“……1.7ev？”

【理论表明，磷—氮共掺的方法，也许是克服宽禁带和超宽禁带半导自补偿的一有效方法……】

“缺陷的填补……”

沈靖拿到草稿纸后，微微一愣，旋即开始和方结明沟通，行模型分析。