习惯的拿笔了草稿纸，陈舟暂时略过了这条信息，继续往下看文献。

这方法需要在衬底上方设置金属丝，常用的像钨丝、钽丝。

【其缺是：沉积的金刚石薄有不均匀的微观结构，薄常非金刚石碳等不纯，由于火焰的梯度，易使衬底发生弯曲变形，并在薄中产生较大的应力。】

把hfcvd法的文献看了三篇后，陈舟觉得大致的思路都差不多，便不再这个方法再纠缠。

这也得益于他系统学科升级所提供的加成。

再将碳气温加到2000~2200c，行分解，形成活粒。

虽然这方法是cvd法的鼻祖，但是现在使用的仍然非常普遍，而且发展成沉积金刚石薄较为成熟的方法之一。

他从文献中看到，当r＝0.97～1.0时，这方法可以制备透明的光学级金刚石薄。

陈舟微微皱眉看着写下的这个区间。

【这方法的优是设备简单、成本低，能在大气中合成金刚石，生长速度快（60～150um/h），有利于大面积和复杂形状样品表面上金刚石的沉积。】

在来之前，他把化学也悄悄的升到了lv2，以备不时之需。

只有在r＝0.7～1.0区域时，才能生长成金刚石。

一是反应气分送的hfcvd法，也就是把碳源气和氢气由丝的下方和上方分别送。

燃烧的火焰分三个区，除了内焰和外焰外，还有一层还原焰。

这样虽然没有数学和理学的系统，但是效率却很。

另一是电助的hfcvd法，通过给衬底加大约150v的偏压，实现沉积速率的提升。

化学和生这两门更偏向于实验和应用的学科，陈舟打算从实验和应用手。

“r=0.97~1.0。”

对于金刚石半导材料和件的研究，显然不适用。

“优缺很明显的一方法。”陈舟评。

这方法的关键就是乙炔和氧气的混合比例r。

和学数学理不同的是，陈舟不打算用同样的方法去学化学和生。

所以，有了化学学科等级的加成，陈舟疯狂的汲取着相关的化学知识。

因为效率是提了，但是金刚石薄的质量，还是太低。

将衬底放置在火焰的还原焰区域，生成金刚石。

在氢原作用下，就会在衬底上沉积而形成金刚石。

这方法，虽然简单，但是沉积效率很低，比四十三所现在用的方法要低很多。

但是，改良方法，陈舟觉得可以一试。

本章已阅读完毕(请击下一章继续阅读!)

其他区域都不利于金刚石的生长。

而且很适用于现在的陈舟。

这方法主要就是将碳源气和氧气混合，在大气中燃烧。

转而，他开始看下一方法，燃烧火焰沉积法（medeposition）。

虽然文献中还提了两改良的方法，但是陈舟同样不认同。

再通过查资料去弥补那个未知。

，行改的。

不仅如此，而且工艺稳定差，容易造成污染。

借助学科等级的加成，以效的学习，从实验和应用中去找未知。

陈舟看文献的速度很快，即使是一边看一边记的情况，他的效率也远远超过了其他人。

这篇文献对于hfcvd法制备金刚石的介绍比较全面。

这方法最早也是由日国学者提的，只不过是在大西洋彼岸实验室得到证实的。

【丝cvd法（hfcvd）制备金刚石】 [page]